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荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構、及び荷電粒子線装置
- 专利权人:
- 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 发明人:
- 高橋 弘樹,中川 周一,清水 利彦,小川 博紀,有坂 寿洋
- 申请号：
- JP20160126168
- 公开号：
- JP2018005975(A)
- 申请日:
- 2016.06.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】本発明は、取り付け、取り外しを容易に行うことが可能な荷電粒子線装置に取り付けられる振動抑制機構の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線装置の鏡筒の外壁に沿った形状の内壁面を有する第１の弧状部材（２１ａ）と、前記荷電粒子線装置の鏡体の外壁に沿った形状の内壁面を有し、前記第１の弧状部材との接続によって、前記荷電粒子線装置鏡体の外壁を包囲する環状部材となる第２の弧状部材（２１ｂ）と、両者を締結する締結部材（２１ｃ）と、弧状部材に取り付けられる振動センサ（２３）と、振動センサの出力に応じて動作するアクチュエータ（２２）を備え、接続部材による接続を解除することによって取り外しが可能な振動抑制機構を提案する。【選択図】図２
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
