一种微悬臂梁气体传感器及其制作方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 太惠玲,蒋亚东,苟君,严剑飞
- 申请号：
- CN201010218524.X
- 公开号：
- CN101936937A
- 申请日:
- 2010.07.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种微悬臂梁气体传感器，它包括传感单元，其特征在于，每组传感单元包括两个微悬臂梁，分别为测量悬臂梁和参考悬臂梁，所述测量悬臂梁和参考悬臂梁与两个匹配电阻组成惠斯登电桥；测量悬臂梁和参考悬臂梁接在惠斯登电桥的相邻桥臂，所述测量悬臂梁表面设置有压敏和气敏层；所述参考悬臂梁表面沉积一层聚电解质聚二烯丙基氯化铵薄膜；采用光敏聚酰亚胺作为牺牲层材料，通过倒八字窗口进行传感器上下电极连接。该传感器结构简单，测试灵敏度更高，在环境监测、食品安全及军事等领域均具有广泛的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
