SURFACE TREATMENT METHOD FOR DEPOSITION ACTIVATION OF DIELECTRIC THIN FILM ON GRAPHENE SURFACE TREATED GRAPHENE SUBSTRATE BY THE SAME AND ELECTRONIC DEVICE COMPRISING THE SURFACE TREATED GRAPHENE SUBSTRATE

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专利权人:

포항공과대학교 산학협력단

发明人:

백재윤,강세준,신현준

申请号：

KR20160040900

公开号：

KR101820234(B1)

申请日:

2016.04.04

申请国别(地区):

韩国

年份:

2018

代理人:

摘要：

본 발명은 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법, 그에 의한 표면처리된 그래핀 기판 및 표면처리된 그래핀 기판을 포함하는 전자소자에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 상 유전박막 증착 활성화를 위한 표면처리 방법은, 비활성 그래핀 상에 유기물질을 형성하여 표면처리하는 단계; 및 상기 유기물질 상에 유전박막을 형성하는 단계;를 포함한다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/