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ENSEMBLE D'ÉLECTRODES POUR UN PLASMA À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
专利权人:
CINOGY GMBH
发明人:
WANDKE, DIRK,WANDKE, Dirk,HAHNL, MIRKO,HAHNL, Mirko,KOPP, MATTHIAS,KOPP, Matthias,TRUTWIG, LEONHARD,TRUTWIG, Leonhard,STORCK, KARL-OTTO,STORCK, Karl-Otto
申请号:
DEDE2013/000392
公开号:
WO2014/023276A1
申请日:
2013.07.18
申请国别(地区):
DE
年份:
2014
代理人:
摘要:
Eine Elektrodenanordnung zur Ausbildung eines dielektrisch behinderten Plasmas zwischen einer Wirkfläche (10) der Elektrodenanordnung und einer als Gegenelektrode fungierenden Oberfläche, mit einer flexiblen, flächigen Elektrode (8), die mit einer Hochspannungsquelle (28) verbindbar ist und mit einem flächigen, flexiblen und die Wirkfläche (10) bildenden Dielektrikum (9), das mit der flächigen Elektrode (8) zu einem Elektrodenelement (7) verbunden ist und die Elektrode (8) zur zu behandelnden Oberfläche hin vollständig abdeckt, weist eine verbesserte Anpassbarkeit an unregelmäßige Oberflächen auf durch ein flächenelastisches Andruckmittel (4) zum Andruck auf der der Oberfläche abgewandten Rückseite des Elektrodenelements (7) derart, dass das Elektrodenelement (7) unter lokaler Verformung an Unregelmäßigkeiten der Oberfläche selbsttätig anpassbar ist.The invention relates to an electrode arrangement for forming a dielectrically impeded plasma between an active surface (10) of the electrode arrangement and a surface acting as counter-electrode, having a flexible, planar electrode (8) that can be connected to a high voltage source (28) and having a planar, flexible dielectric (9) that forms the active surface (10) and is connected to the planar electrode (8) to form an electrode element (7), and completely covers the electrode (8) towards the surface to be treated. According to the invention the electrode arrangement has improved adaptability to irregular surfaces by means of a contact means (4) having surface elasticity for pressing onto the rear face of the electrode element (7) facing away from the surface, in such a manner that the electrode element (7), by local deformation, can automatically be adapted to irregularities of the surface.L'invention concerne un ensemble d'électrodes destiné à la formation d'un plasma à barrière diélectrique entre une surface active (10) de l'ensemble d'électrodes et une surface faisant office de contre-électrode. Ledit ensemble d'él
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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