压电部件及其制造方法、超声波振荡元件、超声波探头、超声波诊断装置
- 专利权人:
- 柯尼卡美能达株式会社
- 发明人:
- 清水直纪,多田一成
- 申请号：
- CN201880015385.5
- 公开号：
- CN110383517A
- 申请日:
- 2018.05.03
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件。压电部件(102)具备压电元件(21)和分别形成压电元件(21)的一对对置面(21b、21c)上的一对电极(41、42),电极(41、42)具有:基底膜(41a),其形成在压电元件(21)的对置面(21b、21c)上,具有硫醇基;金属粘合膜(41b),其形成在基底膜(41a)上;以及电极膜(41c),其形成在金属粘合膜(41b)上,用于对压电元件(21)施加电压,金属粘合膜(41b)由与电极膜(41c)不同的材料形成,具有1nm以上10nm以下的厚度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
