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反射光学素子、特にマイクロリソグラフィの光学特性を測定する測定構成体
- 专利权人:
- カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 发明人:
- ヨハネス ボル,ハンス−ユルゲン ロスタルスキー
- 申请号：
- JP20160534960
- 公开号：
- JP2017500555(A)
- 申请日:
- 2014.11.25
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は反射光学素子、特にマイクロリソグラフィの光学特性を測定する測定構成体に関し、測定構成体は、ＥＵＶ光源（５）と、反射光学素子（１０）で反射されたＥＵＶ放射を検出する検出器（２０）と、反射光学素子の物点を検出器の像点へそれぞれ結像する結像システム（３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０）とを備え、結像システムは、ＥＵＶ放射を反射するための１つの第１光学構成部品（３１，４１，５１，６１，７１，８１，９１）及び少なくとも１つの第２光学構成部品（３２，４２，５２， ６２，７２，８２，９２）を有し、第１光学構成部品及び第２光学構成部品において、ＥＵＶ放射の反射中に発生する、面法線に対する反射角はそれぞれ少なくとも７０°である。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
