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電界効果型トランジスタ、及びその製造方法、並びに表示素子、画像表示装置、及びシステム
- 专利权人:
- 株式会社リコー
- 发明人:
- 草柳 嶺秀,植田 尚之,中村 有希,安部 由希子,松本 真二,曽根 雄司,早乙女 遼一,新江 定憲
- 申请号:
- JP20170109747
- 公开号:
- JP2018022879(A)
- 申请日:
- 2017.06.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】活性層となる酸化物半導体と、ソース電極及びドレイン電極との界面における酸化物半導体の還元を防止し、簡易な構成で良好なトランジスタ特性を有する電界効果型トランジスタを提供する。【解決手段】ゲート電圧を印加するためのゲート電極16と、電流を取り出すためのソース電極12及びドレイン電極13と、ソース電極及びドレイン電極との間に設けられ、酸化物半導体からなる活性層14と、ゲート電極と活性層との間に設けられたゲート絶縁層15と、を有する電界効果型トランジスタであって、ソース電極及びドレイン電極が、それぞれ、金属からなる金属領域と、金属の酸化物からなる酸化物領域とを有する。ソース電極及びドレイン電極のそれぞれの酸化物領域の一部が、活性層と接し、かつ、酸化物領域の残部が、活性層以
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/