PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oxidation treatment system capable of certainly obtaining the surface oxidation treatment effect of a treatment object with radicals.SOLUTION: An oxidation treatment system 1 includes a treatment chamber 2, an ozone gas generator 3 for generating ozone gas, a hydrogen peroxide gas generator 4 for generating hydrogen peroxide gas, and a mixer 10 for mixing the ozone gas and the hydrogen peroxide gas in a space narrower than the treatment chamber to form mixed gas and supplying the mixed gas into the treatment chamber 2, and the mixed gas of the hydrogen peroxide gas and the ozone gas is used to perform the surface oxidation treatment of a treatment object in the treatment chamber 2.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】ラジカルによる処理対象表面の酸化処理効果を確実に得ることができる処理システムを提供することを課題とする。【解決手段】処理室2と、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生装置3と、過酸化水素ガスを発生させる過酸化水素ガス発生装置4と、処理室内よりも狭い空間内でオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとし、混合ガスを処理室2内に供給する混合器10と、を具備し、過酸化水素ガスとオゾンガスとの混合ガスを用いて処理室2内の処理対象表面の酸化処理を行う酸化処理システム1とする。【選択図】図1
