PROBLEM TO BE SOLVED: To provide technique capable of certainly obtaining the surface oxidation treatment effect of a treatment object with an oxidation treatment agent.SOLUTION: An oxidation treatment method using an oxidation treatment agent performing treatment for oxidizing the surface of a treatment object in a treatment chamber 2 includes a dew condensation generation step (step S11) for condensing moisture in the treatment chamber 2 on the surface of the treatment object in the treatment chamber 2 and a step (step S12) for oxidizing the surface of the treatment object in the treatment chamber 2 with the oxidation treatment agent, in such a state that a dew condensation is generated on the surface of the treatment object in the treatment chamber 2.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】酸化処理剤による処理対象表面の酸化処理効果を確実に得ることができる技術を提供することを課題とする。【解決手段】処理室2内の処理対象表面を酸化処理剤によって酸化させる処理を行う、酸化処理剤を用いた酸化処理方法であって、処理室2内の処理対象表面に処理室2内の水分を結露させる結露発生工程(ステップS11)を具備し、処理室2内の処理対象表面に結露が生じた状態で、処理室2内の処理対象表面を酸化処理剤によって酸化させる処理を行う(ステップS12)、酸化処理剤を用いた酸化処理方法とする。【選択図】図2