PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oxidation treatment method or oxidation treatment system capable of easily performing the surface oxidation of a treatment object with radicals even with respect to a treatment object unsuitable for performing oxidation treatment by immersing the treatment object in treatment water.SOLUTION: An oxidation treatment method using hydrogen peroxide gas and ozone gas includes an accelerated oxidation treatment step (step S11) for oxidizing the surface of a treatment object with radicals formed by reacting the hydrogen peroxide of hydrogen peroxide gas and the ozone of ozone gas.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】処理水中に処理対象を浸漬させて酸化処理を行うことに適さない処理対象であっても、容易に、ラジカルによる処理対象表面の酸化を行うことができる酸化処理方法または酸化処理システムに関する技術を提供することを課題とする。【解決手段】過酸化水素ガスの過酸化水素とオゾンガスのオゾンとが反応して生成されるラジカルによって処理対象表面を酸化させる促進酸化処理工程(ステップS11)を、具備する、過酸化水素ガスとオゾンガスとを用いた酸化処理方法とする。【選択図】図2
