I want to reduce unwanted response due to higher-order vibration mode that occurs when the cell shape of a capacitive micromachined ultrasonic transducer has an anisotropy. If that represents the aspect ratio (l / w) ratio of (w) direction and a short (l), the transmission and reception within the bandwidth of the probe the long direction of the vibration film of the capacitive micromachined ultrasonic transducer Setting the aspect ratio representative of the value as not to form a dip of more than 6dB. Or to set the representative aspect ratio the number of vibration modes that value divided by the fundamental mode frequency the frequency of the vibration mode number of the belly is an odd number there will be 2 or less so that there are six or more.静電容量型マイクロマシン超音波トランスデューサのセル形状が異方性を有する場合に発生する高次振動モードに起因する不要応答を低減する。静電容量型マイクロマシン超音波トランスデューサを構成する振動膜の長い方向(l)と短い方向(w)の比を代表アスペクト比(l/w)とする場合に、探触子の送受信帯域幅内に6dB以上のディップを形成しなくなるような値に代表アスペクト比を設定する。又は腹の数が奇数個存在する振動モードの周波数を基本モード周波数で割った値が2以下になる振動モードの数が6個以上存在するように代表アスペクト比を設定する。
