PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma generator capable of suppressing generation of ozone and obtaining stable discharge.SOLUTION: A plasma generator 1 includes: a low dielectric layer 2 provided with a protrusion 5 a first metal layer 3a and a second metal layer 3b which are arranged so as to face each other with the protrusion 5 therebetween and are laminated on the low dielectric layer 2 and a high dielectric layer 4 which is laminated on the low dielectric layer 2 so as to cover at least one of the first metal layer 3a and the second metal layer 3b. Plasma is generated in the vicinity of the protrusion 5.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】オゾン発生を抑制することができるとともに、安定的な放電が得られるプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】凸部5を具備する低誘電体層2と、凸部5を挟んで対向するように配置され、低誘電体層2に積層される第1金属層3a及び第2金属層3bと、第1金属層3a及び第2金属層3bの少なくともいずれか一方を覆うように低誘電体層2に積層される高誘電体層4とを備え、凸部5の近傍でプラズマが発生することを特徴とするプラズマ発生装置1。【選択図】図1
