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３次元表面電位分布計測装置
- 专利权人:
- 東芝三菱電機産業システム株式会社;国立大学法人 東京大学
- 发明人:
- 古川 真陽,牛渡 広大,吉満 哲夫,坪井 雄一,日高 邦彦,熊田 亜紀子,池田 久利
- 申请号：
- JP20160524949
- 公开号：
- JPWO2015186160(A1)
- 申请日:
- 2014.06.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- ３次元表面電位分布計測装置（７０）は、レーザ光源（１３）と、ポッケルス結晶（１１）と、ミラーと、光検出器（１６）と、これらの互いの位置関係を維持しながらこれらを保持する保持構造（３１）と、保持構造（３１）を３次元的に移動駆動可能な移動駆動部と、試験対象物（８）を保持し試験対象物（８）の長手方向を軸として回転駆動可能な回転駆動部（３５）と、移動駆動部および回転駆動部（３５）を制御する駆動制御部（３７）とを有する。駆動制御部（３７）は、ポッケルス結晶（１１）の端面と試験対象物（８）の表面との間隔を所定の間隔に保持しながら、ポッケルス結晶（１１）の端面を試験対象物（８）の電界緩和システム（３）の全表面に近接するように移動駆動部による保持構造（３１）の移動駆動動作と回転駆動部（３５
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
