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表面電位分布計測装置
- 专利权人:
- 東芝三菱電機産業システム株式会社;国立大学法人 東京大学
- 发明人:
- 古川 真陽,坪井 雄一,吉満 哲夫,日高 邦彦,熊田 亜紀子,池田 久利
- 申请号：
- JP20150506358
- 公开号：
- JPWO2014147660(A1)
- 申请日:
- 2013.03.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 表面電位分布計測装置（７０）は、レーザ光源（１３）と、テーパ付のポッケルス結晶（１１）と、ミラーと、ミラーにより反射されたレーザ光の光強度を検出する光検出器（１６）と、ポッケルス結晶（１１）を保持し移動する保持搭載部（３０）と、電圧校正データベースと、試験時出力電圧に対応する入力電圧を電界緩和システム（３）の表面電位として特定する演算部とを備える。ポッケルス結晶（１１）は横断面の大きさが軸方向に沿って変化するように形成され、保持搭載部（３０）は、ポッケルス結晶（１１）の構造を保護する保護部（３１）と、ポッケルス結晶（１１）を電界緩和システム（３）の表面電位の計測のために移動させる移動部（３５）、（３６）と、これらを制御する駆動制御部（３７）とを有する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
