您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
波面計測方法、波面計測装置、プログラムおよび記録媒体
- 专利权人:
- キヤノン株式会社
- 发明人:
- 鎌田 美智子,加藤 正磨,直井 俊幸
- 申请号：
- JP20160138207
- 公开号：
- JP2018009856(A)
- 申请日:
- 2016.07.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】回折格子を用いるシアリング干渉計測において、高精度に傾斜成分を補正した波面を取得可能な波面計測方法、波面計測装置、プログラムおよび記録媒体を提供すること。【解決手段】被検光の波面をシアリング干渉によって計測する波面計測方法であって、回折格子パターンを透過し、検出面で検出された光に基づいて、第１の画像を取得する第１取得ステップと、回折格子パターンおよび回折格子パターンとは異なる光学パターンを透過し、検出面で検出された光に基づいて、第２の画像を取得する第２取得ステップと、第１および第２の画像、ならびに回折格子パターン、光学パターン、および検出面の位置関係に関する情報に基づいて、被検光の波面の傾斜成分を補正した波面を算出する算出ステップと、を有する。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
