電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
- 专利权人:
- 株式会社アドバンテスト
- 发明人:
- 高柳 史一,入澤 昭好
- 申请号：
- JP20160514935
- 公开号：
- JPWO2015163299(A1)
- 申请日:
- 2015.04.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明にかかる電磁波測定装置は、電磁波出力器と、電磁波検出器とを備える。電磁波出力器は、複数の検体を糊で貼り合せた試料に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数を有する電磁波を出力する。電磁波検出器は、試料を透過した電磁波である透過電磁波を検出する。さらに、本発明にかかる電磁波測定装置は、検出された透過電磁波に基づき、糊による接合が良好か否かを判定する。【選択図】 図５
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