하우징 내에 가열부재 및 상기 가열부재를 슬라이딩 가능하게 지지하기 위한 지지부재가 높이를 따라 복수의 열로 구획되어 배치되는 열처리 장치의 적층형 챔버 구조로서, 상기 가열부재는 램프 및 상기 램프에 전력을 공급하기 위한 커넥터부를 포함하고, 상기 램프 및 상기 열차단부는 일자형으로 동일선 상에서 연결됨으로써, 상기 커넥터부는 상기 하우징의 측면에 배치되며, 상기 가열부재의 상부면 상에 상부 기판 및 하부면 상에 하부 기판을 수용하여, 하나의 상기 가열부재로서 상부 및 하부 기판을 동시에 열처리할 수 있다.
