PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the degradation of image quality when the trigger of each line has a timing deviation, in an image processing device forming an image by the two-dimensional scanning of a laser.SOLUTION: In an image generation device for generating the image of an object to be inspected from a pixel group obtained by reciprocatively scanning the object to be inspected in a main scanning direction with the laser, pixel line acquisition means for acquiring a first pixel line from one reciprocation scanning with the laser and a second pixel line adjacent to the first pixel line and from one reciprocation scanning with the laser and reciprocation comparison means for comparing the first pixel line and the second pixel line and detecting a positional deviation amount between the first pixel line and the second pixel line are arranged.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】レーザの二次元走査によって画像を形成する画像処理装置で各ラインのトリガにタイミングずれがある場合の画質劣化を低減する。【解決手段】被検査物上でレーザを主走査方向に往復走査することで得られた画素群から前記被検査物の画像を生成する画像生成装置において前記レーザによる一往復分の走査による第一の画素列と、前記第一の画素列に隣接し且つ前記レーザによる一往復分の走査による第二の画素列とを取得する画素列取得手段と、前記第一の画素列と第二の画素列とを比較して、前記第一の画素列と前記第二の画素列との位置ずれ量を検出する往復行比較手段と、を配する。【選択図】図2
