NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;SAUNDERS, Paul
发明人:
CHU, Jinn P.,CHEN, Chien-Kuang
申请号：
USUS2018/054784
公开号：
WO2019/209366A1
申请日:
2018.10.08
申请国别(地区):
US
年份:
2019
代理人:
摘要：
A method of manufacturing a sensor comprises: providing a substrate； forming a photoresist layer on the substrate, wherein the photoresist layer comprises a hole array which comprises a plurality of holes which pass through from one side of the photoresist layer to the substrate； sputtering a metallic glass material on the photoresist layer to deposit the metallic glass material on a hole wall of each hole and a part of the substrate defined by the hole wall； removing the photoresist layer and forming a nanotube array structure of the metallic glass material, wherein the nanotube array structure comprises a plurality of nanotubes, and each nanotube has an open end opposite to the substrate； performing a surface treatment on the nanotube array structure to form a plurality of functional groups in each nanotube； and anchoring a plurality of aptamers in each nanotube by activating the plurality of functional groups.L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur comprenant : la fourniture d'un substrat； la formation d'une couche de résine photosensible sur le substrat, la couche de résine photosensible comprenant un réseau de trous qui comprend une pluralité de trous qui passent d'un côté de la couche de résine photosensible au substrat； la pulvérisation d'un matériau de verre métallique sur la couche de résine photosensible pour déposer le matériau de verre métallique sur une paroi de trou de chaque trou et une partie du substrat définie par la paroi de trou； le retrait de la couche de résine photosensible et la formation d'une structure de réseau de nanotubes du matériau de verre métallique, la structure de réseau de nanotubes comprenant une pluralité de nanotubes, et chaque nanotube ayant une extrémité ouverte opposée au substrat； la réalisation d'un traitement de surface sur la structure de réseau de nanotubes pour former une pluralité de groupes fonctionnels dans chaque nanotube； et l'ancrage d'une pluralité d'aptamères dans chaque nanotube par activat
