硬化性組成物、レジスト材料及びレジスト膜
- 专利权人:
- ＤＩＣ株式会社
- 发明人:
- 伊部 武史,矢木 直人,谷本 尚志,矢田 真
- 申请号：
- JP20160557510
- 公开号：
- JPWO2016072202(A1)
- 申请日:
- 2015.10.06
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明の課題は、硬化後の洗浄が容易であり、ドライエッチング耐性が高く、精密パターンの転写精度に優れたレジストを作成可能な硬化性組成物を提供すること、該硬化性組成物を含有するレジスト膜及び積層体、さらには該レジスト膜を用いたパターン形成方法を提供することである。本発明は、重合性基を有する基を二つ以上有する多官能重合性単量体であって、下記式（１）で表される重合性基を有する基Ｑを少なくとも１つ有する多官能重合性単量体（Ａ）を含有し、不揮発分量中のケイ素原子の量が１０ｗｔ％以上である硬化性組成物を提供することで、上記課題を解決する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
