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超声波元件以及超声波内窥镜
- 专利权人:
- 奥林巴斯医疗株式会社;奥林巴斯株式会社;奥林巴斯医疗株式会社；奥林巴斯株式会社
- 发明人:
- 松本一哉,唐木和久,长谷川守,若琳胜裕
- 申请号：
- CN201280029137.9
- 公开号：
- CN103597855A
- 申请日:
- 2012.05.29
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 超声波元件（20）具备：硅衬底（11）；下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；上部绝缘层（15），形成有分别小于下部电极部（12A）的多个空腔（14）；上部电极层（16），具有隔着各个空腔（14）与各个下部电极部（12A）对置配置的、比下部电极部（12A）小而比空腔（14）大的多个上部电极部（16A）、和多个上部布线部（16B），与检测电容信号的接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17）。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
