超声波元件以及超声波内窥镜
- 专利权人:
- 奥林巴斯医疗株式会社;奥林巴斯株式会社
- 发明人:
- 松本一哉,唐木和久,长谷川守,若琳胜裕
- 申请号：
- CN201280026079.4
- 公开号：
- CN103583055A
- 申请日:
- 2012.05.29
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- US元件（20）具备硅衬底（11）以及在硅衬底（11）上按顺序层叠的：下部电极层（12），具有多个下部电极部（12A）和多个下部布线部（12B），与被施加驱动信号以及偏置信号的下部电极端子（52）连接；下部绝缘层（13）；形成多个空腔（14）的上部绝缘层（15）；上部电极层（16），具有多个上部电极部（16A）和多个上部布线部（16B）、与用于检测电容信号的、接地电位的上部电极端子（51）连接；以及保护层（17），并且US元件（20）还具备至少在上述下部布线部（12B）的上侧形成的、与接地电位的屏蔽电极端子（53）连接的屏蔽电极部（71）。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
