一种获取待测薄膜参数值的方法及装置
- 专利权人:
- 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 发明人:
- 柳滨,王东辉,刘一鸣,王文举,张继静,郑永军
- 申请号：
- CN201711112568.2
- 公开号：
- CN107887289A
- 申请日:
- 2017.11.13
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 梁斌
- 摘要：
- 本申请提供了一种获取待测薄膜参数值的方法及装置，其中，该方法包括：获取待测薄膜厚度以及所述待测薄膜的实测白光反射率谱；提取所述白光反射率谱中预定数量的波长点，依据为波长点随机设定的待测薄膜参数值构建种群；判断种群是否符合预先设置的遗传算法结束条件；若所述种群符合遗传算法结束条件，在符合遗传算法结束条件的种群中，获取种群适应度最低的种群；基于所述种群适应度最低的种群、待测薄膜厚度以及预先设置的膜厚计算公式，获取待测薄膜参数值。本申请所提供的方案能够提升待测薄膜参数值精度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
