試料表面の作製方法、試料表面の分析方法、電界支援酸化用プローブおよびこれを備えた走査型プローブ顕微鏡
- 专利权人:
- 株式会社ＳＵＭＣＯ
- 发明人:
- 森 敬一朗,橋本 香織,秀 智枝
- 申请号：
- JP20160130792
- 公开号：
- JP2018004403(A)
- 申请日:
- 2016.06.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】局所酸化法による試料表面へのマーキング形成方法の有用性を更に高めること。【解決手段】マーキングが形成された試料表面の作製方法であって、前記マーキングは、試料表面に局所的に形成された局所酸化膜であり、前記局所酸化膜を、プローブの先端と前記試料表面とを接触させた状態で前記プローブと試料表面との間に電圧を印加することにより形成し、かつ、前記プローブを、水分供給処理を施した後に前記試料表面と接触させる、前記作製方法。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
