imaging device, and the dividing unit for dividing the light from the light source into reference light and measurement light, being arranged in the measurement light path to the division unit and the inspected object is connected, wherein by reflecting the measurement light and a first dichroic guiding the measurement light to the inspected object dichroic mirror (dichroic mirror), is arranged in the reference light path for the division unit and the reference object is connected, for guiding the reference light by reflecting the reference beam to the reference object, and the dichroic mirror to the second dichroic, and a light receiving unit that receives the interference light of the reference return light from the first return light and the reference light is irradiated with the reference object from the measured the inspected object the light is irradiated.촬상장치는, 광원으로부터의 빛을 참조광과 측정광으로 분할하는 분할유닛과, 상기 분할유닛과 피검사물이 접속하는 측정 광로 내에 배치되고, 상기 측정광을 반사함으로써 상기 측정광을 상기 피검사물로 인도하는 제1 다이크로익 미러(dichroic mirror)와, 상기 분할유닛과 참조 물체가 접속하는 참조 광로 내에 배치되고, 상기 참조광을 반사함으로써 상기 참조광을 상기 참조 물체로 인도하는 제2 다이크로익 미러와, 상기 측정광이 조사된 상기 피검사물로부터의 제1 복귀광과 상기 참조광이 조사된 상기 참조 물체로부터의 참조 복귀광과의 간섭광을 수광하는 수광유닛을 구비한다.
