A compensation optical apparatus for obtaining and image of an object without reduction in image quality irrespective of aberration compensation, includes: a division unit for dividing a return beam from a measured object an aberration measurement unit for measuring an aberration caused by the measured object, with a divided beam from the division unit an aberration compensation unit for performing aberration compensation based on the aberration measured by the aberration measurement unit a projection unit for projecting a beam obtained by the aberration compensation in the aberration compensation unit to the measured object an acquirement unit for acquiring a value exhibiting a state of the measured object based on the return beam from the measured object, which is obtained by the beam projected from the projection unit and a control unit for retreating the division unit from an optical path based on the value acquired by the acquirement unit.수차 보정에 상관없이 화질의 저하없는 피사체의 화상을 얻기 위한 보상 광학장치는, 측정대상으로부터의 복귀빔을 분기하는 분기부(106) 상기 분기부로부터 분기된 빔을 사용하여 상기 측정대상에 의해 생긴 수차를 측정하는 수차측정부(115) 상기 수차측정부에 의해 측정된 수차에 근거하여 수차보정을 행하는 수차보정부(108) 상기 수차보정부의 상기 수차보정으로 얻어진 빔을 상기 측정대상(111)에 투사하는 투사부(110) 상기 투사부로부터의 상기 투사된 빔에 의해 얻어진 상기 측정대상으로부터의 복귀빔에 근거하여 상기 측정대상의 상태를 나타내는 값을 취득하는 취득부(114) 및 상기 취득부에서 취득한 값에 근거하여 상기 분기부를 광로로부터 이탈시키는 제어부(118)를 구비한다.
