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回折光学素子、光照射装置、回折光学素子の製造方法
- 专利权人:
- 大日本印刷株式会社
- 发明人:
- 登山 伸人
- 申请号：
- JP20160143985
- 公开号：
- JP2018013679(A)
- 申请日:
- 2016.07.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】簡単な構造で、光の利用効率が高い、回折光学素子、光照射装置、回折光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】回折光学素子１０は、断面形状において複数の凸部１１ａが並んで配置されている高屈折率部１１と、高屈折率部１１よりも屈折率が低く、少なくとも凸部１１ａの間に形成されている凹部１２を含む低屈折率部１４と、を有する回折層１５を備え、凸部１１ａは、その側面形状の少なくとも一方側に、高さの異なる複数の段部（１１ａ−１，１１ａ−２，１１ａ−３，１１ａ−４）を備えた多段階形状を有しており、複数の段部（１１ａ−１，１１ａ−２，１１ａ−３，１１ａ−４）は、特定の規則にしたがって配置されており、高さが異なる段部の境界であって、角部となる端部の少なくとも１つには、段部より小さく構成され
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
