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光画像計測装置、光画像計測方法
专利权人:
HITACHI-LG DATA STORAGE INC
发明人:
OSAWA KENTARO,大澤 賢太郎
申请号:
JP2016210709
公开号:
JP2018072111A
申请日:
2016.10.27
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical image measurement device which can acquire information on double refraction of a measurement target while suppressing the size or the cost of the device.SOLUTION: In the invention, a second measurement light different from a first measurement light is generated using a passive optical element which generates light in a second polarization state different from a first polarization state, and the time of irradiating a measurement target with the first measurement light is adjusted to a first time while the time of irradiating the measurement target with the second measurement light is adjusted to a second time different from the first time.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】装置のサイズやコストを抑制しつつ測定対象の複屈折に関する情報を取得することができる光画像計測装置を提供する。【解決手段】本発明においては、第1偏光状態とは異なる第2偏光状態の光を生成するパッシブ光学素子を用いて、第1測定光とは異なる第2測定光を生成し、前記第1測定光を測定対象に対して照射する時刻を第1時刻に調整するとともに、前記第2測定光を前記測定対象に対して照射する時刻を前記第1時刻とは異なる第2時刻に調整する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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