PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve high resolution without reducing adhesion to an inspection target.SOLUTION: An optical sensor comprises: an illumination system including a plurality of light source modules LM for irradiating an inspection target with light and a detection system detecting light emitted from the illumination system and propagating through the inspection target. Each of the plurality of light source modules LM irradiates the same position on the inspection target with plural pieces of non-parallel light. The light source module LM includes: a surface emission laser array chip having a plurality of light emission parts and a lens arranged on an optical path of plural pieces of light from the plurality of light emission parts. Emission directions of at least two light emission parts of the plurality of light emission parts are non-parallel. In this case, adhesion to the inspection target is not reduced and a high resolution is achieved.SELECTED DRAWING: Figure 31COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】被検体への装着性を低下させず、かつ高分解能を得ることができる。【解決手段】 光学センサは、被検体に光を照射する、複数の光源モジュールLMを含む照射系と、該照射系から照射され被検体内を伝播した光を検出する検出系と、を備えている。そして、複数の光源モジュールLMそれぞれは、非平行の複数の光を被検体の同一位置に照射する。また、光源モジュールLMは、複数の発光部を有する面発光レーザアレイチップと、複数の発光部からの複数の光の光路上に配置されたレンズと、を含み、複数の発光部のうち少なくとも2つの発光部の出射方向は非平行である。この場合、被検体への装着性を低下させず、かつ高分解能を得ることができる。【選択図】図31
