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光学フィルタの製造方法および光照射装置
- 专利权人:
- ウシオ電機株式会社
- 发明人:
- 千賀 岳人
- 申请号：
- JP20160169206
- 公开号：
- JP2018036482(A)
- 申请日:
- 2016.08.31
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】 光放射ランプから放射された光の、被処理物の被処理面における光強度分布の均一性を向上させることのできる光学フィルタの製造方法および光照射装置の提供。【解決手段】 光学フィルタの製造方法は、光放射ランプよりなる光源と、当該光源から放射される光を照射する被処理物との間に介在させる光学フィルタの製造方法であって、光源の放射強度分布を取得する工程と、ソラリゼーションを生ずる光透過性材料に、前記光源の放射強度分布に対応する透過率分布の遮光パターンをソラリゼーションにより付与して光学フィルタを得る工程とを有することを特徴とする。前記光学フィルタを得る工程におけるソラリゼーションは、前記光源の放射強度分布に対応するＸ線遮蔽マスクを介して前記光透過性材料にＸ線を照射することにより行わ
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
