Periodic spatial patterns of x-ray illumination are used to gather information about periodic objects. The structured illumination may be created using the interaction of a coherent or partially coherent x-ray source with a beam splitting grating to create a Talbot interference pattern with periodic structure. The object having periodic structures to be measured is then placed into the structured illumination, and the ensemble of signals from the multiple illumination spots is analyzed to determine various properties of the object and its structures. Applications to x-ray absorption/transmission, small angle x-ray scattering, x-ray fluorescence, x-ray reflectance, and x-ray diffraction are all possible using the method of the invention.Selon linvention, des motifs spatiaux périodiques de radiographie sont utilisés pour rassembler des informations concernant des objets périodiques. Léclairage structuré peut être créé à laide de linteraction dune source de rayons X cohérente ou partiellement cohérente avec un réseau de division de faisceau pour créer un motif dinterférence de Talbot à structure périodique. Lobjet ayant des structures périodiques à mesurer est ensuite placé dans léclairage structuré, et lensemble de signaux provenant des multiples points déclairage est analysé pour déterminer diverses propriétés de lobjet et de ses structures. Des applications à labsorption/la transmission de rayons X, la diffusion de rayons X de petits angles, la fluorescence de rayons X, le facteur de réflexion de rayons X et la diffraction de rayons X sont toutes possibles en utilisant le procédé de linvention.
