The application relates to microfluidic needles and their manufacturing methods. The microfluidic needle comprises an interface portion containing at least one fluid communication channel, an elongated needle portion (40) projecting away from the interface portion (44), the needle portion having a tip and sidewalls connecting the tip to the interface portion, and at least two microfluidic channels (43 A-B) within the needle portion in fluidic connection with the at least one communication channel, the microfluidic channels being at least partly oriented parallel to the elongated needle portion. According to the application, the microfluidic channels exit the needle portion at the sidewalls of the needle portion. The needle may be fabricated by ALD-assisted silicon micromachining. The needle can be used for injection and/or sampling fluids to/from tissue or individual cells.Linvention concerne des aiguilles microfluidiques et leurs procédés de fabrication et leurs utilisations. Laiguille microfluidique comporte une partie interface contenant au moins un canal de communication de fluide, une partie aiguille allongée faisant saillie à lopposé de la partie interface, la partie aiguille ayant une pointe et des parois latérales reliant la pointe à la partie interface, et au moins deux canaux microfluidiques à lintérieur de la partie aiguille et en liaison de fluide avec le ou les canaux de communication, les canaux microfluidiques étant au moins partiellement orientés parallèlement à la partie aiguille allongée. Selon linvention, les canaux microfluidiques sortent de la partie aiguille au niveau des parois latérales de la partie aiguille. Laiguille peut être fabriquée par micro-usinage de silicium assisté par déposition en couche atomique. Laiguille peut être utilisée pour linjection de fluides à des cellules de tissu ou individuelles et/ou pour léchantillonnage de fluides de cellules de tissu ou individuelles.
