The present invention not only increases the production of active species, as well as improved safety, is intended to be easily influenced by humidity change, the fluid circulating holes 21b in the corresponding portion of the pair of electrodes 21 and 22, The 22b provided with the plasma electrode unit 2 is configured such that they penetrate, a power supply circuit 51 for applying a voltage between the pair of electrodes 21 and 22, and a circuit control section 52 that controls the power supply circuit 51 A plasma generating apparatus 100 provided, the power supply circuit unit 51, a transformer 511 and outputs the boosted input voltage, and a pulse waveform voltage waveform of the primary winding 511a is provided to the primary winding 511a of the transformer 511 and a switching element 512, the circuit control unit 52, by inputting the OFF signal to the switching element 512, to adjust the peak value and pulse width of the output voltage of the secondary winding 511b of the transformer 511.本発明は、活性種の生成量を増やすだけでなく、安全性を向上させるとともに、湿度変化の影響を受け難くするものであり、一対の電極21、22の対応する箇所に流体流通孔21b、22bを設けてこれらが貫通するように構成されたプラズマ電極部2と、一対の電極21、22間に電圧を印加する電源回路部51と、電源回路部51を制御する回路制御部52とを備えるプラズマ発生装置100であって、電源回路部51が、入力電圧を昇圧して出力するトランス511と、トランス511の一次巻線511aに設けられて一次巻線511aの電圧波形をパルス波形とするスイッチング素子512とを有し、回路制御部52が、スイッチング素子512にオンオフ信号を入力することにより、トランス511の2次巻線511bの出力電圧のピーク値及びパルス幅を調節する。
