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石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制作方法
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 李扬,杨慕杰,林乾乾
- 申请号：
- CN201210087432.1
- 公开号：
- CN102636522A
- 申请日:
- 2012.03.29
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 韩介梅
- 摘要：
- 本发明公开的石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器，是以陶瓷为基体，在陶瓷基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极，其上涂覆石墨烯和二氧化锡纳米复合物气敏薄膜，制得的电阻型薄膜气体传感器，制备工艺简单，成本低。因气敏薄膜是由具有三维纳米结构的石墨烯纳米片层和具有定向生长特性的二氧化锡纳米晶体颗粒复合物组成，石墨烯的引入能很好的降低传感器元件的电阻，而三维纳米结构的形成可显著提高复合物的比表面积，促进气体吸附和扩散，从而极大地提高元件的室温气敏响应灵敏度。对低浓度氨气具有响应灵敏度高，响应快速，回复性好，特别是能在室温下检测等特点，可广泛应用于工农业生产过程及大气环境中氨气浓度的室温检测与控制。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
