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構造物体を検査するための光学装置及び方法
- 专利权人:
- ナノテック ソリュシオンＮＡＮＯＴＥＣ ＳＯＬＵＴＩＯＮ
- 发明人:
- フレスケ ジル
- 申请号：
- JP20160235402
- 公开号：
- JP2017096956(A)
- 申请日:
- 2016.12.02
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】トポグラフィ測定、層厚さ測定、及びパターン高さ測定を同時に行うことのできる構造物体を検査するための光学装置及び方法を提供する。【解決手段】構造物体を検査するための顕微鏡装置であって、カメラ１と、カメラ１において視野に応じて物体の画像を生成することができ、かつ、物体４の側に配置された遠位レンズ３を含む光学画像化手段２と、測定ビームを含み、かつ、測定ビームの逆反射と少なくとも１つの別の光学参照との干渉によって測定を行うことのできる低コヒーレンス赤外線干渉計５とを含む顕微鏡装置に関する。本装置は、ビームが遠位レンズ３を通過するように、測定ビームを光学画像化手段２に導入するための結合手段７をさらに含み、低コヒーレンス赤外線干渉計５は、物体４に対する測定ビームが対象範囲とする
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
