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偏光特性画像計測装置、偏光特性画像計測方法
专利权人:
NIKON CORPORATION
发明人:
KOJIMA, Takanori,小島貴則,ODATE, Satoru,大舘暁,TAKAGI, Toru,高木徹
申请号:
JPJP2016/086877
公开号:
WO2017/099253A1
申请日:
2016.12.12
申请国别(地区):
WO
年份:
2017
代理人:
摘要:
This polarization property image measurement device is equipped with: a first irradiation unit that modulates the strength of a plurality of beams with differing polarization states using different frequencies and irradiates a target with said beams a light receiving unit having disposed therein a plurality of first photoelectric conversion units that perform, for each different polarization state, photoelectric conversion of the beams emitted from the first irradiation unit and scattered by the target and a discrimination unit that detects at the different frequencies the signals output from each of the plurality of first photoelectric conversion units, discriminates which of the aforementioned plurality of beams each signal is derived from, and outputs the signals.Linvention concerne un dispositif de mesure dimage de propriété de polarisation qui est équipé de : une première unité dexposition qui module la puissance dune pluralité de faisceaux ayant différents états de polarisation au moyen de fréquences différentes et qui expose une cible auxdits faisceaux une unité de réception de lumière ayant, disposée en son sein, une pluralité de premières unités de conversion photoélectrique qui effectuent, pour chaque état de polarisation différent, une conversion photoélectrique des faisceaux émis par la première unité dexposition et diffusés par la cible et une unité de discrimination qui détecte aux différentes fréquences les signaux émis par chaque unité de la pluralité de premières unités de conversion photoélectrique, distingue à partir duquel des faisceaux de la pluralité de faisceaux susmentionnés est dérivé chaque signal et délivre les signaux.偏光特性画像計測装置は、偏光状態の異なる複数の光をそれぞれ異なる周波数で強度変調して対象物に照射する第1照射部と、第1照射部から照射され対象物によって散乱された光を、異なる偏光状態ごとに光電変換する複数の第1光電変換部が配置された受光部と、複数の第1光電変換部からそれぞれ出力される信号を異なる周波数で検波し、複数の光のいずれに由来する信号かを弁別して出力する弁別部とを備える。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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