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PECVD COATING USING AN ORGANOSILICON PRECURSOR
专利权人:
エスアイオーツー・メディカル・プロダクツ・インコーポレイテッド;SIO2 MEDICAL PRODUCTS INC
发明人:
JOHN T FELTS,ジョン・ティ・フェルツ,THOMAS E FISK,トーマス・イー・フィスク,ROBERT S ABRAMS,ロバート・エス・エイブラムス,ROBERT J PANGBORN,ロバート・ジェイ・パンボーン,PETER J SAGONA,ピータ・ジェイ・サゴナ
申请号:
JP2015101329
公开号:
JP2015180780A
申请日:
2015.05.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved fabrication method for coated vessels.SOLUTION: A method for coating a substrate surface by PECVD is provided. The method comprises generating a plasma from a gaseous reactant comprising an organosilicon precursor and optionally O. The lubricity, hydrophobicity and/or barrier properties of the coating are determined by setting the ratio of the Oto the organosilicon precursor in the gaseous reactant, and/or by setting the electric power used for generating the plasma. In particular, a lubricity coating made by the method is provided. Vessels coated by the method and the use of such vessels protecting a compound or composition contained or received in the coated vessel against mechanical and/or chemical effects of the surface of the uncoated vessel are also provided.【課題】 被覆容器の改良された製造方法を提供することである。【解決手段】 PECVDによる基板表面の被覆方法を提供し、当該方法は、有機ケイ素前駆体と随意にO2からなるガス状反応物質からプラズマを生成する手法からなる。当該被覆材の潤滑性、疎水性および/または遮断性は、ガス状反応物質内のO2対有機ケイ素前駆体の比率の設定により、および/またはプラズマ生成に使用する電力の設定により決定される。特に、前述方法により生成される潤滑性被覆材を提供する。前述方法により被覆される容器、および非被覆容器表面の機械的および/または化学的作用から前述の被覆容器内に含有されるまたは収受される化合物または組成物を保護するためのかかる容器の使用法も提供する。【選択図】 図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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