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SPECTROSCOPE, DISPOSITIF D'INSPECTION OPTIQUE, ET DISPOSITIF DE TOMOGRAPHIE PAR COHÉRENCE OPTIQUE (OCT)
专利权人:
HORIBA, LTD.;HORIBA; LTD.;株式会社堀場製作所
发明人:
SATO, Seichi,佐藤世智
申请号:
JPJP2016/087062
公开号:
WO2017/104661A1
申请日:
2016.12.13
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
In order to provide a spectroscope with which it is possible to improve resolution and prevent loss of light intensity and/or distortion of a wavefront while also enabling detection of the optical spectrum for each of a plurality of polarization components in incident light, the present invention is provided with: a first diffraction grating 51 configured such that a first polarization component of incident light is diffracted, but a second polarization component different from the first polarization component of incident light is transmitted without being diffracted, at least light transmitted or reflected from an object to be measured being incident on the first diffraction grating 51; and a first light-receiving element 55 for receiving the spectrum of the light diffracted by the first diffraction grating.Afin de fournir un spectroscope grâce auquel il est possible d'améliorer la résolution et d'empêcher une perte d'intensité lumineuse et/ou une distorsion d'un front d'onde tout en permettant la détection du spectre optique pour chacune d'une pluralité de composantes de polarisation dans une lumière incidente, la présente invention comprend : un premier réseau de diffraction (51) conçu de telle sorte qu'une première composante de polarisation de lumière incidente est diffractée, mais qu'une seconde composante de polarisation différente de la première composante de polarisation de lumière incidente est transmise sans être diffractée, au moins la lumière transmise ou réfléchie par un objet à mesurer étant incidente sur le premier réseau de diffraction (51); et un premier élément de réception de lumière (55) pour recevoir le spectre de la lumière diffractée par le premier réseau de diffraction.入射する光について複数の偏光成分ごとに分光スペクトルを検出できるようにしつつ、光量のロスや波面の歪みを抑えて分解能を向上させることができる分光器を提供するために、測定対象物からの透過光又は反射光が少なくとも入射するものであり、入射する光の第1偏光成分については回折し、入射する光の第1偏光成分とは異なる第2偏光成分については回折せずに透過するように構成された第1回折格子51と、前記第1回折格子51で回折された光のスペクトルを受光する第1受光素子55と、を備えた。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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