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Spectroscope, optical inspection device, and OCT device
专利权人:
株式会社堀場製作所
发明人:
佐藤 世智
申请号:
JP2017556069
公开号:
JPWO2017104661A1
申请日:
2016.12.13
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
In order to provide a spectroscope capable of improving the resolution by suppressing the loss of light amount and distortion of the wavefront while allowing the spectral spectrum to be detected for a plurality of polarization components of incident light, transmission from the measurement object Light or reflected light is incident at least, and the first polarization component of the incident light is diffracted, and the second polarization component different from the first polarization component of the incident light is transmitted without being diffracted. The constructed first diffraction grating 51 and a first light receiving element 55 for receiving the spectrum of the light diffracted by the first diffraction grating 51 are provided.入射する光について複数の偏光成分ごとに分光スペクトルを検出できるようにしつつ、光量のロスや波面の歪みを抑えて分解能を向上させることができる分光器を提供するために、測定対象物からの透過光又は反射光が少なくとも入射するものであり、入射する光の第1偏光成分については回折し、入射する光の第1偏光成分とは異なる第2偏光成分については回折せずに透過するように構成された第1回折格子51と、前記第1回折格子51で回折された光のスペクトルを受光する第1受光素子55と、を備えた。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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