PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure usable as a screen grid having a transmission part with higher X ray transmittance than a transmission part of a conventional screen grid, and a manufacturing method thereof.SOLUTION: A manufacturing method of a structure comprises the steps of: forming a plurality of protrusions 30 on a first face 28 of a base plate filling metal around the plurality of protrusions to form a metal structure 1 and etching at least part of areas between top faces 31 of the plurality of protrusions and portions 32 in a second face 29 of the base plate opposite to the first face of the base plate and corresponding to the top faces 31 of the plurality of protrusions.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】 従来の遮蔽格子の透過部よりもX線の透過率が高い透過部を備える遮蔽格子として用いることができる構造体と、その製造方法とを提供することを目的とする。【解決手段】 構造体の製造方法は、基板の第1の面28に複数の凸部30を形成する工程と、複数の凸部の間に金属を充填して金属構造体1を形成する工程と、複数の凸部の頂面31と、基板の第1の面と対向する基板の第2の面29のうち複数の凸部の頂面31に対向する部分32と、にはさまれた領域の少なくとも一部をエッチングする工程と、を有する。【選択図】 図3
