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一种基于二级微杠杆的双质量块高灵敏度硅微谐振式加速度计结构
- 专利权人:
- 北京航空航天大学;北京航天控制仪器研究所
- 发明人:
- 李成,王岩,温悦,王超,樊尚春
- 申请号：
- CN201510982811.0
- 公开号：
- CN105606845A
- 申请日:
- 2015.12.23
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 杨学明`顾炜
- 摘要：
- 一种基于二级微杠杆的双质量块高灵敏度硅微谐振式加速度计结构，包括质量块、二级微杠杆放大机构、音叉谐振器；加速度计采用两个质量块敏感加速度，并通过连接衬底的支撑梁和被测物体与这两个质量块相连接；两个完全相同的谐振器的一端通过锚点固定在基底上，另一端通过微杠杆机构与质量块相连；在每个质量块上，各连接有两个相同的二级微杠杆。当加速度计工作时，质量块产生的惯性力经二级微杠杆机构进行力放大后，作用于音叉谐振器，改变其固有振动频率，通过检测音叉谐振器固有频率的变化，即可解算出被测加速度值。本发明具有灵敏度高、量程大、差动检测、稳定性好、体积小、结构简单以及可实现音叉振动耦合抑制等优点，可用于航空航天、汽车工业、地震监测领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
