一种基于光热效应的硅微谐振式二维加速度传感器
- 专利权人:
- 重庆理工大学
- 发明人:
- 刘妤,邓国红,丁军,郑拯宇
- 申请号：
- CN201110341473.4
- 公开号：
- CN102507982B
- 申请日:
- 2011.11.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 张先芸
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于光热效应的硅微谐振式二维加速度传感器，包括衬底、固定支撑、苜蓿叶形状的惯性质量块和谐振微梁；惯性质量块通过对称设置的四个谐振微梁悬挂于固定支撑的中部，并位于衬底的正上方；每个谐振微梁的上表面涂覆金属涂层。该传感器基于光热效应实现谐振微梁的光激振，并通过谐振微梁的差分频率检测实现对加速度的测量；整体呈对称微结构，确保在两个检测方向灵敏度一致；能在有限体积下实现较大的敏感质量；能在相同面积内制作出相对较长的谐振微梁；传感器直接输出频率信号，处理电路简化；频率信号具有高的抗干扰能力和稳定性；激励源与振动元件之间无机械接触，灵敏度高、精度高。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
