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一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器
专利权人:
重庆理工大学
发明人:
刘妤,王国超,米林,郭长文
申请号:
CN201110341470.0
公开号:
CN102435778B
申请日:
2011.11.02
申请国别(地区):
中国
年份:
2013
代理人:
张先芸
摘要:
本发明公开了一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器,包括衬底、筒状结构的固定支撑、苜蓿叶形状的惯性质量块和谐振微梁;惯性质量块通过对称设置的四个谐振微梁悬挂于固定支撑的中部,并位于衬底的正上方;谐振微梁与衬底之间构成高精度的法布里-珀罗谐振腔。该传感器整体呈对称微结构,确保在两个检测方向灵敏度一致;能在有限体积下实现较大的敏感质量;能在相同面积内制作出相对较长的谐振微梁;传感器直接输出频率信号,处理电路简化;频率信号具有高的抗干扰能力和稳定性;使用单个非调制光源完成激励,减小了系统的复杂性,提高了可靠性;激励源与振动元件之间无机械接触,灵敏度高、精度高。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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