It is provided with a heat conductive plate 21 to the base plate 7, with the end Peltier unit 39 to an external circuit, a central part Peltier unit 29 to the conversion layer 13 for active matrix substrate and 11, respectively, is responsible for the constant temperature and cooling The, it is possible with a relatively simple structure, to increase the cooling efficiency and constant temperature. Also, outside air is sucked from the intake port 51 of the cover 5 so passes through the cooling fins 35, 45 of the Peltier elements 33 and 43 efficiently, the heat of the Peltier element 33, 43 is efficiently discharged.ベース板7に熱伝導板21を設け、外部回路用に端部ペルチェユニット39を備え、アクティブマトリクス基板11及び変換層13用に中央部ペルチェユニット29を備え、冷却と恒温化をそれぞれが受け持つことにより、比較的簡単な構成で、恒温化と冷却効率を高めることができる。また、カバー5の吸気口51から吸引された外気が効率的にペルチェ素子33,43の冷却フィン35,45を通過するので、効率的にペルチェ素子33,43の熱が排出される。
