PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for suppressing generation of a void in an X-ray shielding part when the X-ray shielding part of a structure arranged with the X-ray shielding part and an X-ray transmitting part is manufactured by metal plating.SOLUTION: A method of manufacturing a structure includes: a process of forming holes or a plurality of gaps on a first substrate 2 so as to expose a part of a surface on a first substrate side of an etching stop layer by etching the first substrate 2 of an integrated body (substrate 5) having at least the first substrate 2, the etching stop layer 10, and a seed layer 4 in this order from a surface on the side opposite to the etching stop layer a process of exposing a part of the surface on the first substrate side of the seed layer by etching a part of the etching stop layer from the exposed surface of the first substrate side of the etching stop layer 10 and a process of forming a metal body 9 by filling metal into the holes or gaps by performing metal plating on the surface of the first substrate side of the seed layer with the seed layer used as a seed.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】X線遮蔽部とX線透過部が配列した構造体のX線遮蔽部を金属めっきで製造する際、X線遮蔽部にボイド発生を抑制する製造方法を提供する。【解決手段】構造体の製造方法は、少なくとも、第1の基板2とエッチングストップ層10とシード層4とをこの順に有する一体物(基板5)の第1の基板2を、エッチングストップ層とは反対側の面からエッチングすることにより、エッチングストップ層の第1の基板側の表面の一部が露出するように第1の基板に孔または複数の間隙を形成する工程と、エッチングストップ層10の第1の基板側の露出した表面からエッチングストップ層の一部をエッチングしてシード層の第1の基板側の表面の一部を露出させる工程と、シード層をシードとしてシード層の第1の基板側の表面にめっきを行うことにより、孔もしくは間隙の少なくとも一部に金属を充填して金属体9を形成する工程。【選択図】図1
