PROBLEM TO BE SOLVED: To increase a frame rate of an x-ray sensor.SOLUTION: An x-ray sensor is configured so that one face side is an x-ray incident face and the other face side is an electron beam incident face. A photoelectric conversion film 12 with a thin film-like electrode 18 and an electron source 16 for applying an electron beam 26 to the photoelectric conversion film 12 are arranged on the x-ray incident face side. The electron source 16 has a plurality of electron beams 26 to be selected and applied in each scanning line. The photoelectric conversion film 12 includes conductive band-like electron incident electrodes 22 formed on positions respectively corresponding to scanning lines of electron beams on the electron beam incidence face. The thin film-like electrode 18 on the x-ray incident face side has a constitution divided into a plurality of bands almost orthogonal to the electron incident electrodes 22.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】本発明は、X線センサーのフレームレートを速くすることを目的とするものである。【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、一面側がX線入射面、他面側を電子ビーム入射面とし、X線入射面側には薄膜状電極18を有する光電変換膜12と、電子ビーム26を光電変換膜12に照射する電子源16とを備え、電子源16は、走査ラインごとに選択して照射する複数の電子ビーム26を有するとともに、光電変換膜12は、電子ビーム入射面上の電子ビームの走査ラインに対応した位置に導電性の帯状の電子入射電極22を設け、X線入射面側の薄膜状電極18は、前記電子入射電極22にほぼ直交した複数の帯状に分割した構成としている。【選択図】図6
