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表面観察用構造体、表面評価方法、基材製造方法、電子素子の製造方法、タッチパネルの製造方法
- 专利权人:
- ＪＮＣ株式会社
- 发明人:
- 國信 隆史,氏家 研人
- 申请号：
- JP20150115297
- 公开号：
- JP2017004659(A)
- 申请日:
- 2015.06.05
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】表面観察において、固体表面の凹凸を大面積で、速く、簡便に観察できる構造体およびそれを用いた評価方法を得ること。【解決手段】本願の表面観察用構造体は、表面の状態を評価する基材１１と；基材１１の上に配置された、腐食性ガスまたは腐食性液体と反応して腐食する材料で形成された腐食層１２と；腐食層１２を前記腐食性ガスまたは腐食性液体から封止する封止層１３とを備る。封止層１３は、ピンホールを有し、前記腐食性ガスまたは前記腐食性液体が、前記ピンホールを介して封止層１３を透過して腐食層１２を腐食させる。腐食層１２の腐食状態を観察し、表面の凹凸、特に突起の有無を評価する。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
