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一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法及其应用
- 专利权人:
- 中国科学技术大学
- 发明人:
- 马圆圆,魏钰,陈琳,周成刚
- 申请号：
- CN202011238936.X
- 公开号：
- CN112221010A
- 申请日:
- 2020.11.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种采用金属辅助湿法刻蚀制备硅基微针的制备方法，包括:将预处理硅片表面涂光刻胶进行图形化处理，得到样片；将所述样片在硝酸银‑氢氟酸‑超纯水混合溶液中沉积，得到沉积硅片；将所述沉积硅片在氢氟酸‑过氧化氢混合溶液中刻蚀，清洗后浸泡在食人鱼溶液中，再去除硅纳米线，得到硅基微针。本发明提供的方法只需要用光刻胶做简单地图形化处理，然后利用金属辅助湿法刻蚀在酸性条件下刻蚀出大尺寸微针，微针高度可控，微针位置可控，刻蚀时间短，工艺过程简单，效果显著。硅基微针高度为90～137微米；制备的传感器对过氧化氢有良好的线性响应，响应电流较大，可不少于4小时的检测过氧化氢的浓度变化。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
