Structure profiles from optical interferometric data can be identified by obtaining a plurality of broadband interferometric optical profiles of a structure as a function of structure depth in an axial direction. Each of the plurality of interferometric optical profiles include a reference signal propagated through a reference path and a sample signal reflected from a sample reflector in the axial direction. An axial position corresponding to at least a portion of the structure is selected. Phase variations of the plurality of interferometric optical profiles are determined at the selected axial position. A physical displacement of the structure is identified based on the phase variations at the selected axial position.Selon la présente invention, des profils de structure issus de données interférométriques optiques peuvent être identifiés en obtenant une pluralité de profils optiques interférométriques à large bande dune structure, sous forme dune fonction de la profondeur de structure dans la direction axiale. Chacun des profils optiques interférométriques comprend un signal de référence qui est propagé sur une voie de référence et un signal échantillon qui est réfléchi par un réflecteur déchantillon dans la direction axiale. Une position axiale correspondant à au moins une partie de la structure est sélectionnée. Des variations de phase des profils optiques interférométriques sont déterminées dans la position axiale sélectionnée. Un déplacement physique de la structure est identifié sur la base des variations de phase dans la position axiale sélectionnée.
