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ELECTRON BEAM EMITTER
专利权人:
HITACHI ZOSEN CORPORATION
发明人:
Bakhtari, Kaveh
申请号:
JPJP2014/005351
公开号:
WO2015/092964A1
申请日:
2014.10.22
申请国别(地区):
WO
年份:
2015
代理人:
摘要:
An electron beam emitter (1) includes an electron generating source (2) generating electrons (e-), a vacuum chamber (3) containing the electron generating source (2) in an interior (30), a transmission window (5) that keeps the airtightness of the vacuum chamber (3) and transmits the electrons (e-), and a cooling mechanism (32), (31o), (31i) for cooling the transmission window (5). The transmission window (5) is formed of a pure material that is an anti-corrosive heat conductive material such as SiC and includes a thin membrane portion (50) transmitting the electrons (e-) and a thick membrane portion (51) that has a continuous thickness. The thick membrane portion (51) includes an outer thick membrane portion on the circumference of the transmission window 5. The outer thick membrane portion is held by a wall (31) constituting the vacuum chamber (3) and is connected to the cooling mechanism (32), (31o), (31i).Linvention concerne un émetteur de faisceau délectrons (1) qui inclut une source génératrice délectrons (2) générant des électrons (e-), une chambre à vide (3) contenant la source génératrice délectrons (2) dans un intérieur (30), une fenêtre de transmission (5) qui maintient létanchéité à lair de la chambre à vide (3) et qui transmet les électrons (e-), et un mécanisme de refroidissement (32), (31o), (31i) permettant de refroidir la fenêtre de transmission (5). La fenêtre de transmission (5) est formée dun matériau pur qui est un matériau conducteur de chaleur anticorrosif, par exemple du SiC, et qui inclut une partie de membrane mince (50) transmettant les électrons (e-) et une partie de membrane épaisse (51) dont lépaisseur est continue. La partie de membrane épaisse (51) inclut une partie de membrane épaisse extérieure sur la circonférence de la fenêtre de transmission (5). La partie de membrane épaisse extérieure est maintenue par une paroi (31) constituant la chambre à vide (3) et est raccordée au mécanisme de refroidissement (32), (31o), (31i).
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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